Ring

在高温/等离子体工艺中保持耐热性与绝缘特性

透明特性可实现工艺过程中的光学监控

防静电功能可最大限度减少颗粒产生

Showerhead

石英材质具有优异的气体扩散均匀性与化学稳定性

非金属电极可防止特定工艺中的离子污染

可实现CVD和干法刻蚀工艺中的精细气体控制

Tube

在热处理及气体反应炉中提供稳定的工艺环境

对气体反应呈中性，最大程度减少工艺污染

热膨胀率低，有助于提升工艺重复性