以精密技术引领全球半导体市场
Consumable Parts
Edge Ring
保护晶圆边缘，防止等离子体集中
在高温高强度等离子体环境中保持优异的耐腐蚀性
减少边缘颗粒产生，防止晶圆在工艺中破裂
Showerhead
具备卓越的化学稳定性，耐腐蚀性气体环境下也具备良好耐久性
精确控制高能等离子体分布
支持适用于微细工艺的气体流量与热分布优化
Boat
用于半导体热处理工艺中的晶圆支撑
即使在高温和急剧热变化下也能保持形状稳定和精度
最小化颗粒产生，满足无尘室标准要求
Socket
将晶圆精确定位并固定于静电卡盘（ESC）上
防止工艺过程中晶圆移动或震动，提高图案精度
支持晶圆与设备之间的电接触或对准功能