Dry Type

使用固体吸附剂通过物理

反应后副产物颗粒少，最大程度减少腔体污染

功耗低，维护成本低

Plasma Type

利用等离子体分解并无害化处理气体

对难分解气体提供高效反应

即使在高温等离子环境下也能稳定长期运行