APC Valve

实时精确控制工艺腔体的压力

基于反馈的自动控制功能提升工艺精度

高速响应特性可实现精细真空阶段切换

Gate Valve

机械方式隔离腔体内外的真空区域

采用耐磨材料，适用于高频操作，延长使用寿命

在高真空环境下具有最小化泄漏的设计