Ronda Korea 专注于提供用于等离子体工艺优化的 SiC 耗材
론다코리아
2025.07.17
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在基于等离子体的半导体工艺中,材料的耐久性与精度直接关系到生产效率。
碳化硅(SiC)凭借其出色的热导率、优异的抗等离子体性能及低颗粒生成特性,已成为广泛应用于 蚀刻(Etch) 和 化学气相沉积(CVD) 等高温工艺的代表性材料。
Ronda Korea 可根据客户工艺需求,设计并提供多种 SiC 部件,包括 上电极(Upper Electrode)、聚焦环(Focus Ring)、衬套(Liner) 等。这些产品在实际使用中因其耐用性与工艺一致性,获得众多客户的高度评价。
通过致力于提供切实提升工艺效率与良率的 SiC 产品系列,Ronda Korea 正持续强化其全球设备客户中的市场份额,并聚焦于高附加值产品,不断提升盈利能力。